Software De Cassino De Feixe De Eletrons
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Resumo: O presente trabalho tem como objetivo desenvolver um processo de fabricação de elementos micro-ópticos utilizando-se litografia por feixe de elétrons. 2 – Interação (e-) matéria. As simulações do volume de interação do feixe de elétrons em função da energia foram produzidas com software Casino [CASINO v]. . Page 7. • – Interação do feixe de elétrons (e-).